電感耦合電漿質譜法

ICP-MS 用的是和 ICP-OES 一樣的熾熱電漿，但它不去讀原子放出的光，而是把原子一個個稱重。電漿不僅把樣品原子化，還從每個原子上打掉一個電子，把它變成離子；這些離子隨後按質量被分選、被實實在在地計數，這大概就是元素分析所能達到的最靈敏的程度。

說得更準確些：電漿把元素電離；離子被從電漿裡拉出來、聚成一束，送進一台按質荷比把它們分開的質量分析器。檢測器在每個質量處計數離子，於是儀器既報出存在哪些元素、又報出有多少，甚至能分辨同一元素的不同同位素。

它之所以重要，是因為 ICP-MS 能達到萬億分之一的水平——低得驚人——並且能快速測量幾十種元素和同位素，使它成為水、血液和食品中超痕量金屬分析的金標準。誠實的提醒是成本高，以及同量異位素干擾：標稱質量相同的離子（某元素與一個分子離子重疊）會把讀數攪渾。