凝聚態物理的方法與工具
電子顯微術
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一台普通的光學顯微鏡,永遠無法讓你看清比一個可見光波長小太多的東西,就像你沒法用一支粗畫筆去臨摹一幅精細的鉛筆素描。電子顯微術繞開了這個限制:它用一束快速運動的電子取代光,電子那短得多的波長能分辨出精細數千倍的細節——精細到足以看見單個原子。
電子表現得像波,而且運動得越快,那道波就越短,所以被加速到高能量的電子束便帶著一把極其精細的「尺子」。磁線圈起到透鏡的作用,彎折並聚焦電子束,就像玻璃聚焦光線那樣。在一種常見的方式裡,電子束穿透一片很薄的樣品,形成一幅它內部情形的圖像;在另一種方式裡,一個細聚焦的光點掃過表面,把它打出來的電子收集起來,一點一點地構成畫面。
它之所以重要,是因為它讓我們能夠真切地看見材料中原子的排列、找出缺陷與界面,並從電子激發出的 X 射線辨認出存在哪些元素。誠實的提醒是:電子很容易被物質吸收和散射,所以整台儀器都必須置於真空之中,樣品往往要被切成薄如晶圓的片,而那束高能電子還可能加熱、充電、甚至逐漸損傷正在被觀察的東西本身。
一台現代透射電子顯微鏡能把矽晶體中整齊的原子行列拍得如此清晰,以致每一列原子都呈現為一個分明的亮點,讓工程師能夠發現哪怕只有一層錯位。
電子顯微術看到的矽中原子列:每個亮點都是一列原子。
電子顯微術是一束電子穿過樣品或掃過樣品來成像;而像穿隧顯微鏡那樣的掃描探針方法,則是用一根實體探針在表面上拖過去。兩者以截然不同的手段達到了相近的解析度。
又稱
另見