三维集成与芯粒

异构集成(heterogeneous integration)

几十年来,造出更好芯片最省钱的办法,就是把所有东西——逻辑、缓存、I/O、模拟——统统缩小,挤在同一块大硅片上,用同一套工艺、同一片晶圆做出来。但这种「一刀切」的划算买卖如今已经撑不住了。那种能让逻辑又快又密的最尖端晶体管,用在一块模拟或 I/O 电路上完全是浪费(而且很贵),因为这些电路根本沾不到它的光;大芯片更容易碰上缺陷、良率更差;况且没有哪一套工艺能样样都做到最好。异构集成就是答案:与其硬把每一种功能都塞进同一套工艺,不如让每个模块都用最适合它的工艺去做,再把这些各自独立的裸片在同一个封装里缝合起来,让它们表现得像一颗完整的芯片。

可以把它想成造一辆高性能汽车。你不会因为钛材料拿来做引擎好,就把引擎、轮胎、电池和座椅全都用一整块钛车出来。你会给每个部件挑最合适的材料,再把它们组装到一起。异构集成对硅做的正是这件事:尖端逻辑用领先的 3nm 级节点,高密度存储用 DRAM 工艺,模拟与射频用一个看重耐压而非速度的老节点,甚至还能用硅光子来做光互连——每一块都跑在最契合它的工艺上,再靠一个中介层(interposer)或带硅通孔(TSV)的 3D 堆叠把它们连起来。芯粒、2.5D/3D 封装、中介层上的 HBM,以及像 UCIe 这样的裸片间互连标准,都是在为这个总的思路服务。

有两股来自路线图的压力,让这件事远不止是图个方便。第一是良率与成本:几颗较小、又各自测试过的「已知良品裸片」,造起来要比一整块巨大的单片式裸片便宜得多,因为一个缺陷毁掉的硅料更少。第二是内存墙:一颗饿着带宽的处理器,可以和一摞高高的存储器一起待在同一个封装里、只隔几微米,用上千条又短又并行的连接,这是任何一根电路板走线都望尘莫及的。把对的器件、各用对的工艺、紧紧封装在一起,对整体进步的重要性,已经不亚于把晶体管本身继续缩小了。

Monolithic SoC            Heterogeneous package
+------------------+       +-----------------------------+
| logic | mem | IO |       | logic |  | HBM  |  | analog |
| analog (all 3nm) |       | 3nm   |  |stack |  | (28nm) |
|  one big die,    |       +-----------------------------+
|  one process     |       | silicon interposer / TSVs    |
+------------------+       +-----------------------------+
  one defect = whole         each die on its best node,
  die scrapped               known-good before assembly

左:所有功能都挤在一颗裸片、一套工艺上,一个缺陷就可能把整片报废。右:每个模块都用最契合它的节点做出来、并作为已知良品裸片测试过,再通过一个共用的中介层连接起来。

一旦单靠缩小晶体管不再能轻松换来进步,封装——而不只是裸片——就成了进步的一条主轴,这也正是先进封装如今处在整个行业关键路径上的原因。

又称
HI