壓力感測器（pressure sensor）

壓力感測器把空氣或液體的推力轉成電壓，而幾乎所有的做法，都是讓壓力去壓彎一片薄膜。想像一張鼓面、一側壓著一塊「空氣磚」：壓力越大，鼓面就越往內凹。在 MEMS 壓力感測器裡，這張鼓面是一片只有幾微米厚的矽膜片，被蝕得極薄，會因「外部壓力」與「內部密封參考腔」之間的壓差而明顯偏折。量它彎了多少，就量到了壓力——這就是讀胎壓、讓手機感測高度（高度每升高一公尺、氣壓約降 12 Pa）、告訴洗衣機滾筒裝了多滿的東西。

讀取方式主要有兩種。壓阻式（piezoresistive）在會彎曲的膜片裡擴散出微小電阻；彎曲使它們受應變、電阻改變，再由惠斯通電橋轉成乾淨的差動電壓。電容式（capacitive）則把膜片懸在固定平板上方一髮之距，偏折就改變電容——功耗更低、很適合氣壓計，但較不線性。最關鍵的規格是「參考基準」：絕對式對密封真空量測（用於高度／氣象）、錶壓式對當地大氣量測（用於胎壓，0 代表「與外界相同」）、差壓式量測兩個埠之間的壓差（用於氣流與醫療呼吸器）。