MEMS 陀螺儀（MEMS gyroscope）

陀螺儀量測「轉動」——你正以多快的速度旋轉——而 MEMS 版本根本沒有任何旋轉的輪子；它靠的是一種幽靈般的力，叫做科氏力（Coriolis effect）。想像你在旋轉的旋轉木馬上，直直朝圓心走去：在旁人眼中你會被一股看不見的力推得往側邊偏。MEMS 陀螺儀做出一個微小的音叉或環，讓它持續來回振動；當整顆晶片轉動時，這個振動就被科氏力往側邊推一下，而這側向的推力正比於晶片轉動的快慢。把這側向位移（一樣是電容變化）感測出來，就量到了角速度。

它的輸出是「每秒幾度」（°/s）、不是角度——所以要知道你的朝向，就得把角速度對時間積分，這意味著一個微小的固定誤差（偏壓，bias）會慢慢累積成越來越大的角度誤差，稱為漂移（drift）。便宜的手機陀螺儀可能每分鐘漂個幾度，導航等級的則小得多。這正是陀螺儀幾乎從不單獨使用的原因：它能給出快速平順的短期轉動、卻會在幾分鐘內走偏；而加速度計能給出有雜訊、但有絕對參考的「下」方向。感測器融合濾波器把兩者結合：讓陀螺儀處理快速動作、讓加速度計安靜地修正長期漂移——這正是每架無人機、每支手機、每個 VR 頭盔內部的搭檔關係。