凝聚态物理的方法与工具
电子显微术
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一台普通的光学显微镜,永远无法让你看清比一个可见光波长小太多的东西,就像你没法用一支粗画笔去临摹一幅精细的铅笔素描。电子显微术绕开了这个限制:它用一束快速运动的电子取代光,电子那短得多的波长能分辨出精细数千倍的细节——精细到足以看见单个原子。
电子表现得像波,而且运动得越快,那道波就越短,所以被加速到高能量的电子束便带着一把极其精细的“尺子”。磁线圈起到透镜的作用,弯折并聚焦电子束,就像玻璃聚焦光线那样。在一种常见的方式里,电子束穿透一片很薄的样品,形成一幅它内部情形的图像;在另一种方式里,一个细聚焦的光点扫过表面,把它打出来的电子收集起来,一点一点地构成画面。
它之所以重要,是因为它让我们能够真切地看见材料中原子的排列、找出缺陷与界面,并从电子激发出的 X 射线辨认出存在哪些元素。诚实的提醒是:电子很容易被物质吸收和散射,所以整台仪器都必须置于真空之中,样品往往要被切成薄如晶圆的片,而那束高能电子还可能加热、充电、甚至逐渐损伤正在被观察的东西本身。
一台现代透射电子显微镜能把硅晶体中整齐的原子行列拍得如此清晰,以致每一列原子都呈现为一个分明的亮点,让工程师能够发现哪怕只有一层错位。
电子显微术看到的硅中原子列:每个亮点都是一列原子。
电子显微术是一束电子穿过样品或扫过样品来成像;而像隧道显微镜那样的扫描探针方法,则是用一根实体探针在表面上拖过去。两者以截然不同的手段达到了相近的分辨率。
又称
另见