超晶格薄膜(superlattice film)
想像一個有嚴格食譜的層蛋糕:海綿、奶油、海綿、奶油,一再重複,每一層只有幾個原子厚,而且每一層都與堆疊中它的攣生層一樣厚。超晶格薄膜在晶體中正是這樣——兩種(或更多)不同材料被長成交替的超薄層,以規則重複的堆疊方式長在基板上。結果是一個新的、更大的週期性:在每種材料自身的原子間距之上,這個堆疊還以一個更長的週期重複,這個週期等於一個雙層(一層 A 加一層 B)。
由於晶體中現在內建了第二個、長得多的重複距離,超晶格會在繞射中現形。一片重複週期為(比方說)5 奈米的薄膜,會在普通布拉格峰周圍產生一叢額外的衛星峰,彼此間距為 1 除以週期——堆疊週期越長,衛星峰間距越密。這是層狀結構直接而定量的指紋,也是量測週期與界面銳利度的方法。超晶格薄膜是用分子束磊晶或原子層方法長成的,這些方法能以近乎原子級的精度關掉一種材料、打開另一種。
這樣堆疊材料的用意,是工程出一種結構、並經由它工程出一種行為,這是任一材料單獨都沒有的:交替的半導體造出一列耦合量子井,其電子迷你能帶由層厚決定;交替一層磁性與一層非磁性金屬,給出硬碟讀取頭裡的巨磁阻堆疊;讓薄層彼此應變則建成應變層超晶格。每一種情形裡,設計者的掌控都是結構性的——層的順序與厚度——這正是它穩穩屬於奈米尺度結構的原因。
一片用分子束磊晶長成的砷化鎵/砷化鋁超晶格,可能把 4 奈米的 GaAs 與 4 奈米的 AlAs 交替數百次。一次 X 光掃描會顯示普通的 GaAs 峰兩側伴隨著一排均勻間隔的衛星峰;量測它們的間距,就能準確還原出 8 奈米的雙層週期,確認這些層如設計般長成。
間距為 1/週期 的衛星峰,是這個工程堆疊週期在繞射上的特徵。
別把這種組成超晶格(化學上不同的層堆疊)與有序合金的有序超晶格搞混,後者是單一晶體中原子分別佔上不同位置而產生額外的「超晶格」反射。兩者都添加了更長的週期性與額外反射,但一個是層狀薄膜,另一個是單一晶體內部的原子有序化。