製造工藝

空氣橋

空氣橋是量子晶片上一座微小的、懸空的金屬拱:一條超導金屬帶從表面抬起、乾淨地跨過它下方的導線、再在另一側落下,橋下的縫隙裡除了真空什麼也沒有。可以想像成一座跨過馬路的天橋。它看上去像個吹毛求疵的小細節,但空氣橋悄悄擔著一項要緊的活兒。沒有它,晶片上大片的金屬接地區域就會被在其間穿行的各條信號線切割成一座座孤島,而這些孤島會開始搗亂。

它要治的毛病是:當一條控制線橫切過接地平面時,接地的兩半就不再被牢牢連在一起。它們會漂移到略微不同的電位,並沿著兩者之間的縫隙寄生出一種不想要的振盪模式,叫做縫隙線模式(slotline mode),它會偷走能量,還會讓一個量子位元的信號串擾到另一個上去。空氣橋就是那一針縫線:它從一側把接地帶過來,不接觸地拱過那條礙事的線,再在另一側重新接回接地,於是整片接地保持在同一電位,縫隙模式也被短接掉。同樣這一招還能讓一條線跨過另一條線而不短路。製造很精細:先用光阻做出一層犧牲性的支架,把金屬橋蒸鍍或電鍍在它的圓頂之上,再把支架溶解掉,橋就橫跨在空蕩蕩的空間裡了。

誠實的代價是:空氣橋是一個緊挨著量子位元、並承載電流的小結構,所以做得不好的橋會帶來自身的損耗,或困住雜散磁通,從而縮短相干時間。金屬必須在整道拱上都保持超導,落腳的焊墊必須接合得乾淨,跨段不能下垂或塌陷——而這一切要在整片晶圓上重複成千上萬遍而不出一次差錯。所以空氣橋雖是常規步驟,卻並非免費:它是一道真實的製造工序,得和其他一切一起調好,而不是最後隨手撒上去的靈丹妙藥。

空氣橋主要對付的是一個佈局問題,而非量子問題:它讓單一的接地平面在電學上保持完整,不至於分裂成會振盪、漏能、互相串擾的孤島。

又稱
air-bridge crossovercrossover气桥氣橋