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對抗損耗:表面與空氣橋

一個超導量子位元能保住自己的量子態,前提是晶片不會悄悄把它耗光。事實證明,大部分這種耗散都藏在表面和介面上。本文帶你看清損耗藏在哪裡、兩種實用的對策——清理表面,以及用空氣橋把接地縫合起來——以及你究竟該如何量測它們到底有沒有幫上忙。

損耗到底藏在哪裡

當一個量子位元慢慢遺忘自己的狀態時,那份能量總得有個去處。其中相當大的一部分,會漏進晶片表面和介面上那些幾乎看不見的薄層裡:金屬表面那層幾奈米厚的原生氧化層、金屬與下方基板相接的地方,以及基板自己裸露的那一面。這些薄層裡布滿了原子尺度的微小缺陷,會把微波能量吸走。把它們控制住,量子位元就活得更久;放任不管,再巧妙的電路設計也救不了你。

罪魁禍首是雙能階系統缺陷,通常就簡稱 TLS。每一個都是一個原子或一根化學鍵,可以停在兩個位置之一,並在兩者之間翻轉。當某個缺陷恰好以量子位元的頻率翻轉時,它就像一個微觀的吸收體,吞掉量子位元的一小撮能量。這樣的缺陷在那些無定形氧化層薄皮裡有上百萬個,它們合在一起,是限制今天量子位元能存活多久的最大因素之一。

Cross-section through one edge of a qubit (not to scale):

   air
  -------------------------------  <- native oxide skin (TLS live here)
  | ####  superconducting film  #### |
  ===================================  <- metal/substrate interface (TLS)
  |                                 |
  |            substrate            |
  |        (silicon or sapphire)    |
  |                                 |
  -----------------------------------

  '#' = the good superconductor
  '-' and '=' = the thin lossy layers (where TLS live)
量子位元邊緣的一道剖面。金屬本身沒問題;有損耗的是頂上那層薄氧化皮和埋在下面的金屬/基板介面。

每一層傷害有多大:參與度 x 損耗

並不是每一層有損耗的薄膜都同等重要。真正起作用的,是兩個量相乘。第一個,是材料本身有多耗散——用它的損耗角正切 tan(delta) 來刻畫:一個很小的數,表示材料每個週期會浪費掉能量的幾分之幾。第二個,是量子位元的電場有多少真的落在那一層裡頭——也就是它的參與度 p。一種糟透了的材料,只要電場幾乎碰不到它,也造不成傷害;而一層只是略有損耗的薄膜,一旦電場往裡頭擠,就可能主導全局。

Each layer's contribution to loss:

     loss from a layer  =  p  x  tan(delta)

     p          = participation ratio
                  (fraction of the qubit's E-field in that layer)
     tan(delta) = loss tangent (how lossy the material is)

Total loss = sum over all layers, then turn into a quality factor:

     1 / Q_i  =  sum over layers of ( p_layer x tan(delta)_layer )

     Q_i = internal quality factor  (bigger = lower loss = better)

Example (illustrative numbers only):

     layer              p           tan(delta)     p x tan(delta)
     ----------------   ---------   ------------   --------------
     metal oxide skin   0.001       2e-3           2.0e-6
     metal/substrate    0.0005      1e-3           0.5e-6
     bulk substrate     0.9         1e-7           0.9e-7
     ----------------   ---------   ------------   --------------
     sum (1/Q_i)                                   2.6e-6
     so Q_i ~ 1 / 2.6e-6  =  about 380,000
損耗等於參與度乘以損耗角正切,再對各層求和;它的倒數就是內部品質因子 Q_i。表中數字僅作示意,並非實測值。

從這條小小的公式裡,直接就長出兩個設計動作。你可以把有損耗的那一層做得更乾淨或更薄,從而降低 tan(delta)——這正是表面處理在做的事。或者你可以重新設計電路的形狀,讓電場攤得更開、在表面停留得更少,從而降低 p——更寬的間隙和更大的幾何特徵會把電場推進乾淨的體基板裡,那裡 tan(delta) 極小。真正的晶片兩樣都做。這種逐層的核算,也給了你一份介電損耗預算:一張排好序的清單,告訴你先攻哪個介面回報最大。

兩個實用的對策:乾淨的表面、空氣橋

第一個對策直接衝著 tan(delta) 去。表面鈍化是一整套清潔與保護工序:先把金屬一接觸空氣就長出來的原生氧化層蝕刻掉,再要麼給這新鮮的表面蓋上一層刻意選用、損耗更低的鍍層,要麼對它做處理,讓厚厚的有損耗氧化層再也長不回來。重點不是要往上添什麼稀奇古怪的東西——而是要阻止晶片用它自己長出的氧化層悄悄毒害自己,而那正是眾多 TLS 安家落戶的地方。

  1. 剝掉原生氧化層。用溫和的化學或電漿蝕刻,去掉那層幾奈米厚、寄居著大部分表面 TLS 的氧化皮。
  2. 趁早保護新鮮表面。在空氣重新接觸之前給它蓋上一層——一層受控的鈍化層——好讓厚而雜亂的氧化層無法再長回來。
  3. 保持小步推進。一次只改一道工序,重新製造,再重新量測——這樣你才分得清究竟是哪一步真正起了作用。

第二個對策則是機械式的、巧妙的。在真實的晶片上,接地平面會被橫跨其上的訊號線切成一座座孤島,這些孤島會漂移到略有不同的電位——既會激起雜散模式,又會讓本該送給某個量子位元的脈衝滲漏到鄰居那裡。空氣橋是一道小小的金屬拱,懸空在真空中,跨過訊號線,把兩片接地重新縫合到一起。因為它是從空蕩蕩的空間裡跨過去的,幾乎不引入新的有損耗介質——同時還把串擾壓了下去。

Airbridge stitching two ground patches over a signal line:

    ground            ___________            ground
   ========         /            \         ========
   ========        /   airbridge   \        ========
   ========       /  (free-standing) \       ========
   ===============                    ===============
          |                                   |
          |   ==== signal line (passes  ====  |
          |        underneath the arch)       |

  The arch reconnects the two ground sides without
  touching the signal line below it -- mostly vacuum,
  so it adds almost no dielectric loss.
一道空氣橋拱過訊號線,把兩片接地重新連起來。它大部分是空腔,因此能壓制串擾,又幾乎不增加損耗。

到底有沒有效?量測 Q_i

在你測出來之前,這一切都沒有意義。誠實的成績單,就是內部品質因子 Q_i——一個數字,表示一個諧振器在被自身損耗阻尼掉之前能振盪多少個週期。Q_i 高就意味著損耗低。竅門在於,你通常根本不在完整的量子位元上去測它;你做一些樸素的小諧振器,讓它們帶上一模一樣的表面和製程,冷卻下來,再讀出它們的 Q_i。這樣更快、更便宜,還能把材料這個問題,從量子位元裡其他所有事情中單獨剝離出來。

有一個特徵,讓 TLS 很容易被認出來。TLS 缺陷在飽和之前只能吸收有限的能量,所以在很低的驅動功率下——也就是真實量子位元實際感受到的單光子量級——它們咬得最狠,Q_i 會下塌。把功率開大,它們被填滿、讓到一邊去,Q_i 就爬上來。這種功率依賴性是一枚指紋:如果 Q_i 在低功率下比在高功率下糟糕得多,那幾乎可以肯定,表面 TLS 就是你的麻煩,而表面這塊就是該下功夫的地方。

Resonator Q_i vs drive power (sketch, arbitrary units):

  Q_i
   |                                  ____ high power:
   |                            _____/      TLS saturated,
   |                       ____/            loss low, Q_i high
   |                 _____/
   |           _____/
   |     _____/  <- TLS unsaturated here: they absorb,
   |____/          Q_i is low at the single-photon level
   +-------------------------------------------> drive power
     (few photons)                  (many photons)

  A strong low-power dip is the TLS fingerprint.
  A good surface fix lifts the whole left-hand side up.
Q_i 隨驅動功率升高,就是 TLS 的標誌。一次成功的表面對策,會把真實量子位元所在意的低功率、單光子那一端的 Q_i 抬上去。