製造工藝

表面處理 / 鈍化

當你造一個超導量子位元時,用來雕刻它的金屬並不會一直保持潔淨。它一接觸空氣,表面就會長出一層薄薄的、玻璃般的天然氧化物,途中還會沾上一些游離的水分子、溶劑和污垢黏在表面上。這幾個奈米厚的層,恰恰就是量子位元電場最強的地方,而它們裡頭佈滿了會吸收能量、縮短相干時間的微觀缺陷。表面處理,就是把這些表面清洗乾淨、再加以保護的那門不起眼的手藝,好讓量子位元少把自己耗散在自身的這層「皮膚」上。

實際操作起來,這是一套化學加物理的工序。工程師會用酸浸、氧或氬電漿、或溫和的離子研磨來剝除有損耗的天然氧化物;用烘烤或抽真空去掉吸附的水分和有機殘留;並挑選能留下潔淨平整邊緣、而非留下受損富含缺陷邊緣的蝕刻化學配方。接著是保護那一步:在新鮮表面重新氧化之前把它封住——有時是在不破真空的情況下直接沉積下一層,有時是塗上一層薄薄的封裝把空氣隔開。整件事的核心,就是減少量子位元電場不得不接觸到的那些有損耗、無序的材料的量。

做得好,這就是對相干性的一根直接槓桿;這也是為什麼改用更潔淨的表面和氧化層,把 transmon 的壽命從多年前的幾微秒推到了如今最好元件中的幾百微秒。但它既挑剔又不留情面:在一塊晶片上效果絕佳的配方,到下一塊可能就失靈;它帶來的提升很難在整片晶圓上做到均勻;而你對付的是一種你一轉身它就要重新長出氧化物的化學反應。這是穩步、點滴的進展,而不是一個已被解決的問題。

1/Q_surface proportional to p_surface * tan(delta_surface)

表面處理同時打擊表面區域損耗的兩個因子:透過去除有損耗的氧化物和污垢來降低 tan(delta_surface),而封裝或平整表面還能降低 p_surface,即量子位元電場落在那裡的份額。

表面處理並不是給量子位元添加什麼神奇的東西;它主要是減去那些本就在悄悄偷走相干性的劣質氧化物和吸附物。

又稱
surface passivationinterface cleaningencapsulation表面钝化界面清洁表面鈍化介面清潔