電子與中子繞射;結構成像

高解析穿透式電子顯微鏡(high-resolution TEM)

高解析 TEM(HRTEM)就是產生那些著名影像的模式——晶體呈現為整齊的點狀格子,每個點落在一根穿過薄膜的原子柱位置上。它感覺像是原子的直接照片——但弄清楚它究竟是什麼,能保護你不被騙。HRTEM 不像一般繞射對比成像那樣只用一束,而是把孔徑開大,讓許多繞射束通過,並讓它們在影像面重新結合、干涉。波相長之處你得到亮條紋,相消之處得到暗條紋。把晶體對準晶帶軸,這些條紋交會就形成二維的晶格影像。

所以關鍵而誠實的一點是:HRTEM 影像是干涉圖樣,不是原子的字面快照。原子柱究竟在暗背景上呈亮、還是在亮背景上呈暗——甚至那些點是否恰好落在原子柱上——都取決於顯微鏡的焦距、試片厚度與透鏡像差。有一個叫謝澤爾散焦(Scherzer defocus)的特殊設定,對足夠薄的試片,亮(或暗)點確實忠實對應原子柱,這正是操作者瞄準它的原因。但一改焦距,對比就可能反轉;把晶體弄厚,圖樣就可能變成不再單純對應結構的東西。這在形式上由對比轉移函數描述,也就是顯微鏡對哪些空間細節能通過、以何種正負號通過的濾鏡。

正因如此,嚴謹的 HRTEM 工作會把記錄到的影像對照一系列厚度與焦距的電腦模擬,而不是相信肉眼。回報極大:HRTEM 揭示原子面如何在差排核心彎折與終止、兩個晶體如何在界面上縫合、薄膜如何坐落在基板上,以及疊差或雙晶在哪裡打斷了圖樣。像差校正器的出現抵消了大部分透鏡誤差,讓影像遠更能直接判讀,但底層的警惕從未完全消失:晶格影像是相位對比的條紋圖樣,它的點並不自動就是原子。

在謝澤爾散焦下,把極薄的矽晶體沿 [110] 觀察,HRTEM 影像顯示相距 0.14 奈米的成對暗點——矽原子柱著名的「啞鈴」。把焦距改變幾十奈米,同樣這些柱就可能變亮,鮮明地提醒你:那些點是干涉條紋,不是直接拍到的原子。

同樣的原子柱依焦距而呈亮或暗——HRTEM 的對比必須經過詮釋,不能直接讀取。

新手的錯誤是把 HRTEM 晶格影像當作原子的直接照片。它是相位對比的干涉圖樣;點的正負與位置取決於散焦、厚度與像差,所以需要影像模擬才能斷定哪些點是原子。

又稱
HRTEMHREMlattice imagingphase-contrast imaging晶格影像