繞射對比成像(diffraction-contrast imaging)
我們對差排、疊差與小析出物從 TEM 得到的認識,大多來自繞射對比成像——觀察缺陷的主力模式。想法很簡單。電子束穿過薄膜時,會分裂成直穿的(透射)束與數個繞射束。繞射對比成像放入一個孔徑,只讓其中「一束」形成影像:留下透射束就是明場影像,或挑一個繞射束就是暗場影像。接著你看到的一切,都是一張「有多少電子強度落進那一束選定光束」的逐區地圖。
為什麼這能讓缺陷現形?因為一塊區域繞射多少,取決於它多精確地滿足布拉格條件,而缺陷會在局部彎折或應變晶格。在差排附近,晶面稍微傾斜,那一小塊就與周圍繞射得不一樣——更多電子在那裡被拉進(或拉出)選定光束——於是它呈現為一條暗線或亮線。同樣的邏輯把疊差變成一組平行條紋、把有應變的小析出物變成瓣狀的「咖啡豆」對比、把不同傾角的晶粒變成不同深淺、把薄膜的緩彎變成掃過的彎曲輪廓。為了讓缺陷分析乾淨,操作者會傾斜到雙束條件,此時只有透射束與一個繞射束(一個 g 向量)是強的。
雙束設定解鎖了一個真正定量的鑑別差排技巧:不可見準則。當選定的繞射向量 g 垂直於差排的柏格斯向量 b 時,也就是 g 與 b 的內積為零時,差排會變得不可見(它的對比消失)。用兩三個不同的 g 向量對同一條差排成像,記下哪些讓它消失,你就能解出 b 的方向——差排最根本的描述量。誠實的提醒:繞射對比是來自應變場的間接訊號,不是缺陷原子核心的影像。一條差排線成像時常略微偏離它核心真正所在的位置,而對比反映的是晶格的扭曲,而非原子排列本身。
在以 g = (200) 拍攝的雙束明場影像中,一條差排呈現為強烈的暗線。操作者傾斜到 g = (11-1),同一條差排就淡到消失。因為它只在那個 g 下消失、且該處 g 與 b 內積為零,它的柏格斯向量必落在垂直於 (11-1) 的平面內——純由對比就直接量出 b。
g 與 b 內積為零的不可見準則,把繞射對比變成對差排柏格斯向量的定量量測。
繞射對比成像的是缺陷周圍的應變場,而非其原子核心,所以差排線通常出現在略微偏離真實位置之處。它揭示缺陷的存在與其柏格斯向量,卻不揭示核心逐原子的結構。